In der Präzisionsmesstechnik im Gleichstrom- und Niederfrequenzbereich sind Spannung, Strom und Widerstand die Basismessgrößen. Bei höheren Frequenzen sind dagegen die Hochfrequenz(HF)leistung und -reflexion am wichtigsten, während die Spannungs- und Strommessung nur eine sekundäre Rolle spielt. Entsprechend gibt es zur HF-Leistungs- und Reflexionsmessung umfangreiche Literatur. Über die HF-Spannungsmessung ist nur wenig publiziert worden, was für die Strommessung bei höheren Frequenzen gleichermaßen der Fall ist. Spannungsmessungen ab Frequenzen oberhalb von ungefähr 1 MHz können folgendermaßen unterteilt werden:
Im Frequenzbereich bis ca. 100 MHz überwiegen die traditionellen Messverfahren: Die Quellenspannung von niederohmigen Quellen wird durch hochohmige Spannungsmessung bestimmt. Ab Frequenzen von etwa 1 GHz sind in der Regel sowohl Spannungsmesser als auch Quellen an den Wellenwiderstand der Verbindungsleitungen angepasst, d.h. Last- und Quellimpedanz sind identisch (meist 50 Ω). Bei diesem niedrigen Quellwiderstand ist eine Spannungsmessung ohne Belastung schwierig. Zwischen 100 MHz und 1 GHz können prinzipiell Verfahren aus beiden Bereichen angewandt werden. Oberhalb von etwa 1 GHz wird meist nur noch die Amplitude der einfallenden Spannungswelle gemessen. Diese kann unter Berücksichtigung des Wellenwiderstandes aus der einfallenden Leistung sehr genau bestimmt werden.
Im vorliegenden Dokument wird beschrieben, was bei der rückgeführten HF-Spannungsmessung im Frequenzbereich über 1 MHz zu berücksichtigen ist. Darüber hinaus wird auch kurz auf die HF-Strommessung eingegangen.