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Title:
Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern
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| Authors: |
Authors:
Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458
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| Contributors: |
Contributors:
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
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| Pages: |
Pages:
159
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| Languages: |
Languages:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/110.20160804
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| Version: |
Version:
1.0
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| Resource Type: |
Resource Type:
PTB: Doctoral thesis,
DINI: DoctoralThesis,
DataCite: Dissertation
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| Publisher: |
Publisher:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Thesis Information: |
Thesis Information:
DoctoralThesis, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Aachen
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| Publication Series: |
Publication Series:
PTB-Bericht ; F-56
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| Rights: |
Rights:
Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet.
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| Relationships: |
Relationships:
IsPartOf: ISSN 0179-0609IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9 |
| Dates: |
Dates:
Available:
2016-08-04
Issued: 2015-12 Accepted: 2015-11-02 |
| File: |
File:
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(application/pdf)
47.5 MB
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| Keywords: |
Keywords:
Elektrische Isolationsschichten ;
Dielektrische Schichten ;
Magnetron Sputtern ;
HiPIMS ;
Dünnschichtsensoren ;
Kraftsensorik ;
Siliziumoxid (SiO2) ;
Aluminiumoxid (Al2O3)
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| Series Information: |
Series Information:
PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609
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| Citation: |
Citation:
SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804
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