| Titel: |
Titel:
Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern,
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| Autoren: |
Autoren:
Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458
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| Beitragende: |
Beitragende:
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
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| Seiten: |
Seiten:
159
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| Sprachen: |
Sprachen:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/110.20160804
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| Version: |
Version:
1.0
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
Text / Dissertation
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rechte: |
Rechte:
Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet.
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| Beziehungen: |
Beziehungen:
IsPartOf: ISSN 0179-0609IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9 |
| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar: 2016-08-04 Herausgegeben: 2015-12 |
| Datei: |
Datei:
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(application/pdf)
47.49 MB (49797940 Bytes)
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| Stichwörter: |
Stichwörter:
Elektrische Isolationsschichten ;
Dielektrische Schichten ;
Magnetron Sputtern ;
HiPIMS ;
Dünnschichtsensoren ;
Kraftsensorik ;
Siliziumoxid (SiO2) ;
Aluminiumoxid (Al2O3)
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| Information zur Reihe: |
Information zur Reihe:
PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609
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| Zitat: |
Zitat:
SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804
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