Titel: Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern
Autoren: Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458
Beitragende: HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Seiten:159
Sprache:de
DOI:10.7795/110.20160804
Version:1.0
Art der Ressource: Text / Dissertation
Herausgeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rechte: Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet.
Beziehungen: IsPartOf: ISSN 0179-0609
IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9
Daten: Verfügbar: 2016-08-04
Veröffentlicht: 2015-12
Datei: Datei herunterladen (application/pdf) 47.49 MB (49797940 Bytes)
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Schlagworte Elektrische Isolationsschichten ; Dielektrische Schichten ; Magnetron Sputtern ; HiPIMS ; Dünnschichtsensoren ; Kraftsensorik ; Siliziumoxid (SiO2) ; Aluminiumoxid (Al2O3)
Informationen zur Reihe: PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609
Zitierform: SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804