Title: Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern
Authors: Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458
Contributors: HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Pages:159
Language:de
DOI:10.7795/110.20160804
Version:1.0
Resource Type: Text / Dissertation
Publisher: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rights: Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet.
Relationships: IsPartOf: ISSN 0179-0609
IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9
Dates: Available: 2016-08-04
Issued: 2015-12
File: Download File (application/pdf) 47.49 MB (49797940 Bytes)
MD5 Checksum: 06dc9619df80a174af099a83fc4c101a
SHA256 Checksum: b918442bcb3b12b335f9b6e9823b39147baa937758fdaf21fd8dfd09b90b1ee7
Keywords: Elektrische Isolationsschichten ; Dielektrische Schichten ; Magnetron Sputtern ; HiPIMS ; Dünnschichtsensoren ; Kraftsensorik ; Siliziumoxid (SiO2) ; Aluminiumoxid (Al2O3)
Series Information: PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609
Citation: SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804