| Title: | Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern |
| Authors: | Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458 |
| Contributors: | HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Pages: | 159 |
| Language: | de |
| DOI: | 10.7795/110.20160804 |
| Version: | 1.0 |
| Resource Type: | Text / Dissertation |
| Publisher: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rights: | Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet. |
| Relationships: | IsPartOf: ISSN 0179-0609 IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9 |
| Dates: |
Available: 2016-08-04 Issued: 2015-12 |
| File: |
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| Keywords: | Elektrische Isolationsschichten ; Dielektrische Schichten ; Magnetron Sputtern ; HiPIMS ; Dünnschichtsensoren ; Kraftsensorik ; Siliziumoxid (SiO2) ; Aluminiumoxid (Al2O3) |
| Series Information: | PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609 |
| Citation: | SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804 |