| Titel: | Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern |
| Autoren: | Schmaljohann, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Oberflächentechnologie", Braunschweig, ORCID: 0000-0002-8739-8458 |
| Beitragende: | HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: | 159 |
| Sprache: | de |
| DOI: | 10.7795/110.20160804 |
| Version: | 1.0 |
| Art der Ressource: | Text / Dissertation |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rechte: | Vervielfältigung nur zum persönlichen eigenen Gebrauch gestattet. |
| Beziehungen: | IsPartOf: ISSN 0179-0609 IsIdenticalTo: ISBN 978-3-95606-233-9 |
| Daten: |
Verfügbar: 2016-08-04 Veröffentlicht: 2015-12 |
| Datei: |
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47.49 MB (49797940 Bytes)
MD5 Prüfsumme: 06dc9619df80a174af099a83fc4c101a SHA256 Prüfsumme: b918442bcb3b12b335f9b6e9823b39147baa937758fdaf21fd8dfd09b90b1ee7 |
| Schlagworte | Elektrische Isolationsschichten ; Dielektrische Schichten ; Magnetron Sputtern ; HiPIMS ; Dünnschichtsensoren ; Kraftsensorik ; Siliziumoxid (SiO2) ; Aluminiumoxid (Al2O3) |
| Informationen zur Reihe: | PTB-Bericht F-56, ISBN 978-3-95606-233-9, ISSN 0179-0609 |
| Zitierform: | SCHMALJOHANN, Frank. Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), 2016. doi: 10.7795/110.20160804 |