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Titel:
Establishing traceability for on-wafer S-parameter measurements of membrane technology devices up to 110 GHz
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| Autoren: |
Autoren:
Arz, Uwe, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und FelderZinal, Sherko, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder Probst, Thorsten, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder Hechtfischer, Gerd, Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG, München, Germany Schmückle, Franz-Josef, Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, Germany Alle Autoren anzeigen (6) |
| Beitragende: |
Beitragende:
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
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| Sprachen: |
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en
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| DOI: |
DOI:
10.7795/EMPIR.14IND02.CA.20190403
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
Text / Article
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rechte: |
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Private use is allowed for non-profit purposes only.
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| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar: 2019-04-08 |
| Datei: |
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(application/pdf)
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| Stichwörter: |
Stichwörter:
on-wafer ;
calibration ;
S-parameters ;
traceability ;
uncertainty budget
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| Zusammenfassung: |
Zusammenfassung:
In this paper we report on progress towards establishing traceability for fully calibrated on-wafer measurements of planar devices built in membrane technology. For the first time, we present a comprehensive uncertainty budget for on-wafer S-parameter measurements, including instrumentation errors, connector repeatability and calibration standard uncertainties. Preliminary results are shown for three typical devices.
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-OAR
