| Titel: | Establishing traceability for on-wafer S-parameter measurements of membrane technology devices up to 110 GHz |
| Autoren: |
Arz, Uwe, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder Zinal, Sherko, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder Probst, Thorsten, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder Hechtfischer, Gerd, Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG, München, Germany Schmückle, Franz-Josef, Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, Germany Alle Autoren anzeigen (6) |
| Beitragende: | HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Sprache: | en |
| DOI: | 10.7795/EMPIR.14IND02.CA.20190403 |
| Art der Ressource: | Text / Article |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rechte: | Private use is allowed for non-profit purposes only. |
| Daten: |
Verfügbar: 2019-04-08 |
| Datei: |
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| Schlagworte | on-wafer ; calibration ; S-parameters ; traceability ; uncertainty budget |
| Zusammenfassung: | In this paper we report on progress towards establishing traceability for fully calibrated on-wafer measurements of planar devices built in membrane technology. For the first time, we present a comprehensive uncertainty budget for on-wafer S-parameter measurements, including instrumentation errors, connector repeatability and calibration standard uncertainties. Preliminary results are shown for three typical devices. |