Titel: Establishing traceability for on-wafer S-parameter measurements of membrane technology devices up to 110 GHz
Autoren: Arz, Uwe, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder
Zinal, Sherko, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder
Probst, Thorsten, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich 2.2, Hochfrequenz und Felder
Hechtfischer, Gerd, Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG, München, Germany
Schmückle, Franz-Josef, Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, Germany

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Beitragende: HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Sprache:en
DOI:10.7795/EMPIR.14IND02.CA.20190403
Art der Ressource: Text / Article
Herausgeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rechte: Private use is allowed for non-profit purposes only.
Daten: Verfügbar: 2019-04-08
Datei: Datei herunterladen (application/pdf) 832.28 kB (852259 Bytes)
MD5 Prüfsumme: d5c81c5de188bfd76b103f4d46b12659
SHA256 Prüfsumme: 8603300b6ba2939933e094247adc58b90c24204b4fba8fb508300eefbd073c1c
Schlagworte on-wafer ; calibration ; S-parameters ; traceability ; uncertainty budget
Zusammenfassung: In this paper we report on progress towards establishing traceability for fully calibrated on-wafer measurements of planar devices built in membrane technology. For the first time, we present a comprehensive uncertainty budget for on-wafer S-parameter measurements, including instrumentation errors, connector repeatability and calibration standard uncertainties. Preliminary results are shown for three typical devices.