Title: Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, Wärmeleitungs-Vakuummeter : Richtlinie DKD-R 6-2 Teil 5
Authors: Mitglieder des Fachausschusses Druck und Vakuum des DKD in der Zeit von 1999 bis 2009, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Contributors: HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Pages:10
Language:de
DOI:10.7795/550.20180828AN
Version:09/2018
Resource Type: Text / Technical Requirement
Publisher: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rights: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/de/
CC by-nc-nd 3.0
Dates: Available: 2018-08-30
Issued: 2018-09
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Keywords DKD-Richtlinie ; Kalibrierung ; Kalibrieren ; Messmitteln für Vakuum ; Wärmeleitungs-Vakuummeter
Abstract: Teil 5 gilt für das Kalibrieren von Wärmeleitungs-Vakuummetern nach Pirani, Wärmeleitungs-Vakuummetern nach dem Konvektionsprinzip, thermoelektrischen Vakuummetern und anderen Wärmeleitungs-Vakuummetern. Der Druckbereich beträgt typischerweise 10-4 mbar bis 1000 mbar. Als Normale werden geeignete Druckmessgeräte wie z. B. Membran-Vakuummeter oder Gasreibungs-Vakuummeter verwendet.

Diese Richtlinie ist in folgende Teile unterteilt:
1. Grundlagen
2. Messunsicherheiten
3. Membran-Vakuummeter
4. Ionisations-Vakuummeter
5. Wärmeleitungs-Vakuummeter