| Titel: |
Titel:
Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, Elektrische Membran-Vakuummeter : Richtlinie DKD-R 6-2 Teil 3
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| Autoren: |
Autoren:
Mitglieder des Fachausschusses Druck und Vakuum des DKD in der Zeit von 1999 bis 2009, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
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| Beitragende: |
Beitragende:
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
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| Seiten: |
Seiten:
11
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| Sprachen: |
Sprachen:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/550.20180828AL
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| Version: |
Version:
09/2018
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
Text / Technical Requirement
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rechte: |
Rechte:
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/de/CC by-nc-nd 3.0 |
| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar: 2018-08-30 Herausgegeben: 2018-09 |
| Datei: |
Datei:
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(application/pdf)
618.42 kB (633263 Bytes)
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| Stichwörter: |
Stichwörter:
DKD-Richtlinie ;
Kalibrieren ;
Messmittel für Vakuum ;
Elektrische Membran-Vakuummeter
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| Zusammenfassung: |
Zusammenfassung:
Teil 3 bezieht sich auf das Kalibrieren direkt messender elektrischer Membran-Vakuummeter, z. B. kapazitiver, piezoresistiver und ähnlicher Druckaufnehmer für Absolutdruckmessung. Der Druckbereich beträgt typischerweise 10-6 mbar bis 1000 mbar. Als Normale werden langzeitstabile Vakuummeter verwendet.
Diese Richtlinie ist in folgende Teile unterteilt: 1. Grundlagen 2. Messunsicherheiten 3. Membran-Vakuummeter 4. Ionisations-Vakuummeter 5. Wärmeleitungs-Vakuummeter |
-OAR
