| Titel: | Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, Elektrische Membran-Vakuummeter : Richtlinie DKD-R 6-2 Teil 3 |
| Autoren: | Mitglieder des Fachausschusses Druck und Vakuum des DKD in der Zeit von 1999 bis 2009, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Beitragende: | HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: | 11 |
| Sprache: | de |
| DOI: | 10.7795/550.20180828AL |
| Version: | 09/2018 |
| Art der Ressource: | Text / Technical Requirement |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rechte: |
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/de/ CC by-nc-nd 3.0 |
| Daten: |
Verfügbar: 2018-08-30 Veröffentlicht: 2018-09 |
| Datei: |
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| Schlagworte | DKD-Richtlinie ; Kalibrieren ; Messmittel für Vakuum ; Elektrische Membran-Vakuummeter |
| Zusammenfassung: | Teil 3 bezieht sich auf das Kalibrieren direkt messender elektrischer Membran-Vakuummeter, z. B. kapazitiver, piezoresistiver und ähnlicher Druckaufnehmer für Absolutdruckmessung. Der Druckbereich beträgt typischerweise 10-6 mbar bis 1000 mbar. Als Normale werden langzeitstabile Vakuummeter verwendet. Diese Richtlinie ist in folgende Teile unterteilt: 1. Grundlagen 2. Messunsicherheiten 3. Membran-Vakuummeter 4. Ionisations-Vakuummeter 5. Wärmeleitungs-Vakuummeter |