| Title: |
Title:
Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, Elektrische Membran-Vakuummeter : Richtlinie DKD-R 6-2 Teil 3
|
| Authors: |
Authors:
Mitglieder des Fachausschusses Druck und Vakuum des DKD in der Zeit von 1999 bis 2009, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
|
| Contributors: |
Contributors:
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887Editor: Deutscher Kalibrierdienst, GND: 2097327-5 |
| Pages: |
Pages:
11
|
| Languages: |
Languages:
de
|
| DOI: |
DOI:
10.7795/550.20180828AL
|
| Version: |
Version:
09/2018
|
| Resource Type: |
Resource Type:
PTB: DKD Guide,
DINI: Report,
DataCite: Standard
|
| Publisher: |
Publisher:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
|
| Rights: |
Rights:
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/de/CC by-nc-nd 3.0 |
| Dates: |
Dates:
Available:
2018-08-30
Issued: 2018-09 |
| File: |
File:
Download File
(application/pdf)
618.4 KB
MD5 Checksum: 7b5b33622d07c48d2e1caad89422b279 SHA256 Checksum: 1638f95a546fb69df246abe7a797542627461e10143a3087196ad5561e617ae4 |
| Keywords: |
Keywords:
DKD-Richtlinie ;
Kalibrieren ;
Messmittel für Vakuum ;
Elektrische Membran-Vakuummeter
|
| Abstract: |
Abstract:
Teil 3 bezieht sich auf das Kalibrieren direkt messender elektrischer Membran-Vakuummeter, z. B. kapazitiver, piezoresistiver und ähnlicher Druckaufnehmer für Absolutdruckmessung. Der Druckbereich beträgt typischerweise 10-6 mbar bis 1000 mbar. Als Normale werden langzeitstabile Vakuummeter verwendet.
Diese Richtlinie ist in folgende Teile unterteilt: 1. Grundlagen 2. Messunsicherheiten 3. Membran-Vakuummeter 4. Ionisations-Vakuummeter 5. Wärmeleitungs-Vakuummeter |
-OAR
