Titel: Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, Elektrische Membran-Vakuummeter : Richtlinie DKD-R 6-2 Teil 3
Autoren: Mitglieder des Fachausschusses Druck und Vakuum des DKD in der Zeit von 1999 bis 2009, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Beitragende: HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Seiten:11
Sprache:de
DOI:10.7795/550.20180828AL
Version:09/2018
Art der Ressource: Text / Technical Requirement
Herausgeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rechte: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/de/
CC by-nc-nd 3.0
Daten: Verfügbar: 2018-08-30
Veröffentlicht: 2018-09
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Schlagworte DKD-Richtlinie ; Kalibrieren ; Messmittel für Vakuum ; Elektrische Membran-Vakuummeter
Zusammenfassung: Teil 3 bezieht sich auf das Kalibrieren direkt messender elektrischer Membran-Vakuummeter, z. B. kapazitiver, piezoresistiver und ähnlicher Druckaufnehmer für Absolutdruckmessung. Der Druckbereich beträgt typischerweise 10-6 mbar bis 1000 mbar. Als Normale werden langzeitstabile Vakuummeter verwendet.

Diese Richtlinie ist in folgende Teile unterteilt:
1. Grundlagen
2. Messunsicherheiten
3. Membran-Vakuummeter
4. Ionisations-Vakuummeter
5. Wärmeleitungs-Vakuummeter