Title: Metrologie mit Synchrotronstrahlung, Teil II (Auszug aus: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4. ISSN 0030-834X)
Authors: Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169
Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Puls, Jana, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Stadelhoff, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Haase, Anton, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Krumrey, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Soltwisch, Victor, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Wernecke, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Garcia-Diez, Raul, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Gollwitzer, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Langner, Stefanie, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Müller, Matthias, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Gerlach, Martin, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Holfelder, Ina, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Hönicke, Philipp, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Lubeck, Janin, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Nutsch, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Pollakowski, Beatrix, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Streeck, Cornelia, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Unterumsberger, Rainer, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Weser, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Beckhoff, Burkhard, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin, ISNI: 0000 0001 1676 4249
Hermann, Peter, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin, ISNI: 0000 0004 0999 2165
Hoehl, Arne, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Hornemann, Andrea, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Kästner, Bernd, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Müller, Ralph, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgen- und IR-Spektrometrie", Berlin
Ulm, Gerhard, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abteilung "Temperatur und Synchrotronstrahlung", Berlin
Kolbe, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "UV- und VUV-Radiometrie", Berlin
Darlatt, Erik, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "UV- und VUV-Radiometrie", Berlin
Fliegauf, Rolf, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Instrumentierung Berlin-Adlershof", Berlin
Kaser, Hendrik, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "UV- und VUV-Radiometrie", Berlin
Gottwald, Alexander, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "UV- und VUV-Radiometrie", Berlin
Richter, Mathias, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Fachbereich "Radiometrie mit Synchrotronstrahlung", Berlin
Contributors: Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Pages:34
Language:de
DOI:10.7795/310.20140499
Resource Type: Text / Articles
Publisher: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rights: Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
Relationships: IsPartOf: ISSN 0030-834X
Continues: DOI 10.7795/310.20140399
Dates: Available: 2014-12-23
Issued: 2014-12
File: Download File (application/pdf) 7.91 MB (8289847 Bytes)
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Keywords: EUV-Strahlung ; Reflektometrie ; Optik ; Spiegel ; EUV-Lithographie (EUVL) ; EUVL ; Halbleiterbauelemente ; Röntgenkleinwinkelstreuung ; GISAXS ; EUV-Scatterometrie ; nanostrukturierte Oberflächen ; EUVL-Photomasken ; SAXS ; Nanopartikel ; dimensionelle Nanometrologie ; referenzprobenfreie Röntgenfluoreszenzanalytik ; Fundamentalparameter ; NEXAFS ; Elementgehalte ; chemische Speziation ; Nanoschichten ; Energiematerialien ; FTIR-Spektroskopie ; IR-Nahfeldmikroskopie ; kohärente Synchrotronstrahlung ; Biomoleküle ; Nanostrukturen ; THz-Detektoren ; Weltrauminstrumente ; Ellipsometrie ; Elektronenspektroskopie ; optische Konstanten ; elektronische Struktur ; organische Halbleiter
Series Information: PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4. ISSN 0030-834X
Table of Contents: 1.:
Scholze, Frank, Christian Laubis, Annett Barboutis, Christian Buchholz, Andreas Fischer, Jana Puls und Christian Stadelhoff: Radiometrie für die EUV-Lithographie.
doi: 10.7795/310.20140401 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140401
2.:
Scholze, Frank, Anton Haase, Michael Krumrey, Victor Soltwisch und Jan Wernecke: Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen.
doi: 10.7795/310.20140402 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140402
3.:
Krumrey, Michael, Raul Garcia-Diez, Christian Gollwitzer und Stefanie Langner: Größenbestimmung von Nanopartikeln mit Röntgenkleinwinkelstreuung.
doi: 10.7795/310.20140403 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140403
4.:
Müller, Matthias, Martin Gerlach, Ina Holfelder, Philipp Hönicke, Janin Lubeck, Andreas Nutsch, Beatrix Pollakowski, Cornelia Streeck, Rainer Unterumsberger, Jan Weser und Burkhard Beckhoff: Röntgenspektrometrie mit Synchrotronstrahlung.
doi: 10.7795/310.20140404 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140404
5.:
Hermann, Peter, Arne Hoehl, Andrea Hornemann, Bernd Kästner, Ralph Müller, Burkhard Beckhoff und Gerhard Ulm: Mikro- und Nano-Spektroskopie und Detektorcharakterisierung im IR- und THz-Bereich an der Metrology Light Source.
doi: 10.7795/310.20140405 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140405
6.:
Kolbe, Michael, Erik Darlatt, Rolf Fliegauf, Hendrik Kaser, Alexander Gottwald und Mathias Richter: Oberflächenuntersuchungen mit Vakuum-UV-Strahlung.
doi: 10.7795/310.20140406 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140406
Remark: Diese Artikel erscheinen zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.  

Der Teil I ist in PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 3, ISSN 0030-834X erschienen.
doi: 10.7795/310.20140399