Title: | Metrologie mit Synchrotronstrahlung, Teil II (Auszug aus: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4. ISSN 0030-834X) |
Authors: |
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169 Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Show all authors (37) |
Contributors: | Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
Pages: | 34 |
Language: | de |
DOI: | 10.7795/310.20140499 |
Resource Type: | Text / Articles |
Publisher: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
Rights: | Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch. |
Relationships: | IsPartOf: ISSN 0030-834X Continues: DOI 10.7795/310.20140399 |
Dates: |
Available: 2014-12-23 Issued: 2014-12 |
File: |
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MD5 Checksum: 35c7144df83d74dd8ee1700a4af9c9c7 SHA256 Checksum: 8727859b974bc03e5eb3406505ea22a1a1af144fb6afd5a489cc7e3e4e9d8d33 |
Keywords | EUV-Strahlung ; Reflektometrie ; Optik ; Spiegel ; EUV-Lithographie (EUVL) ; EUVL ; Halbleiterbauelemente ; Röntgenkleinwinkelstreuung ; GISAXS ; EUV-Scatterometrie ; nanostrukturierte Oberflächen ; EUVL-Photomasken ; SAXS ; Nanopartikel ; dimensionelle Nanometrologie ; referenzprobenfreie Röntgenfluoreszenzanalytik ; Fundamentalparameter ; NEXAFS ; Elementgehalte ; chemische Speziation ; Nanoschichten ; Energiematerialien ; FTIR-Spektroskopie ; IR-Nahfeldmikroskopie ; kohärente Synchrotronstrahlung ; Biomoleküle ; Nanostrukturen ; THz-Detektoren ; Weltrauminstrumente ; Ellipsometrie ; Elektronenspektroskopie ; optische Konstanten ; elektronische Struktur ; organische Halbleiter |
Series Information: | PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4. ISSN 0030-834X |
Table of Contents: | 1.: Scholze, Frank, Christian Laubis, Annett Barboutis, Christian Buchholz, Andreas Fischer, Jana Puls und Christian Stadelhoff: Radiometrie für die EUV-Lithographie. doi: 10.7795/310.20140401 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140401 2.: Scholze, Frank, Anton Haase, Michael Krumrey, Victor Soltwisch und Jan Wernecke: Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen. doi: 10.7795/310.20140402 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140402 3.: Krumrey, Michael, Raul Garcia-Diez, Christian Gollwitzer und Stefanie Langner: Größenbestimmung von Nanopartikeln mit Röntgenkleinwinkelstreuung. doi: 10.7795/310.20140403 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140403 4.: Müller, Matthias, Martin Gerlach, Ina Holfelder, Philipp Hönicke, Janin Lubeck, Andreas Nutsch, Beatrix Pollakowski, Cornelia Streeck, Rainer Unterumsberger, Jan Weser und Burkhard Beckhoff: Röntgenspektrometrie mit Synchrotronstrahlung. doi: 10.7795/310.20140404 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140404 5.: Hermann, Peter, Arne Hoehl, Andrea Hornemann, Bernd Kästner, Ralph Müller, Burkhard Beckhoff und Gerhard Ulm: Mikro- und Nano-Spektroskopie und Detektorcharakterisierung im IR- und THz-Bereich an der Metrology Light Source. doi: 10.7795/310.20140405 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140405 6.: Kolbe, Michael, Erik Darlatt, Rolf Fliegauf, Hendrik Kaser, Alexander Gottwald und Mathias Richter: Oberflächenuntersuchungen mit Vakuum-UV-Strahlung. doi: 10.7795/310.20140406 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140406 |
Remark: | Diese Artikel erscheinen zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen. Der Teil I ist in PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 3, ISSN 0030-834X erschienen. doi: 10.7795/310.20140399 |