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Titel:
Metrologie mit Synchrotronstrahlung, Teil II (Auszug aus: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4. ISSN 0030-834X)
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| Autoren: |
Autoren:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Alle Autoren anzeigen (37) |
| Beitragende: |
Beitragende:
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: |
Seiten:
34
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| Sprachen: |
Sprachen:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140499
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
PTB: PTB-Mitteilungen Heft,
DINI: Periodical,
DataCite: Journal
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Erscheinungsjahr: |
Erscheinungsjahr:
2014
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| Rechte: |
Rechte:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
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| Beziehungen: |
Beziehungen:
IsPartOf: ISSN 0030-834XContinues: DOI 10.7795/310.20140399 |
| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar:
2014-12-23
Herausgegeben: 2014-12 |
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7.9 MB
MD5 Prüfsumme: 35c7144df83d74dd8ee1700a4af9c9c7 SHA256 Prüfsumme: 8727859b974bc03e5eb3406505ea22a1a1af144fb6afd5a489cc7e3e4e9d8d33 
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| Stichwörter: |
Stichwörter:
EUV-Strahlung ;
Reflektometrie ;
Optik ;
Spiegel ;
EUV-Lithographie (EUVL) ;
EUVL ;
Halbleiterbauelemente ;
Röntgenkleinwinkelstreuung ;
GISAXS ;
EUV-Scatterometrie ;
nanostrukturierte Oberflächen ;
EUVL-Photomasken ;
SAXS ;
Nanopartikel ;
dimensionelle Nanometrologie ;
referenzprobenfreie Röntgenfluoreszenzanalytik ;
Fundamentalparameter ;
NEXAFS ;
Elementgehalte ;
chemische Speziation ;
Nanoschichten ;
Energiematerialien ;
FTIR-Spektroskopie ;
IR-Nahfeldmikroskopie ;
kohärente Synchrotronstrahlung ;
Biomoleküle ;
Nanostrukturen ;
THz-Detektoren ;
Weltrauminstrumente ;
Ellipsometrie ;
Elektronenspektroskopie ;
optische Konstanten ;
elektronische Struktur ;
organische Halbleiter
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| Information zur Reihe: |
Information zur Reihe:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4. ISSN 0030-834X
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| Inhaltsverzeichnis: |
Inhaltsverzeichnis:
1.:Scholze, Frank, Christian Laubis, Annett Barboutis, Christian Buchholz, Andreas Fischer, Jana Puls und Christian Stadelhoff: Radiometrie für die EUV-Lithographie. doi: 10.7795/310.20140401 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140401 2.: Scholze, Frank, Anton Haase, Michael Krumrey, Victor Soltwisch und Jan Wernecke: Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen. doi: 10.7795/310.20140402 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140402 3.: Krumrey, Michael, Raul Garcia-Diez, Christian Gollwitzer und Stefanie Langner: Größenbestimmung von Nanopartikeln mit Röntgenkleinwinkelstreuung. doi: 10.7795/310.20140403 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140403 4.: Müller, Matthias, Martin Gerlach, Ina Holfelder, Philipp Hönicke, Janin Lubeck, Andreas Nutsch, Beatrix Pollakowski, Cornelia Streeck, Rainer Unterumsberger, Jan Weser und Burkhard Beckhoff: Röntgenspektrometrie mit Synchrotronstrahlung. doi: 10.7795/310.20140404 http://dx.doi.org/10.7795/210.20140404 5.: Hermann, Peter, Arne Hoehl, Andrea Hornemann, Bernd Kästner, Ralph Müller, Burkhard Beckhoff und Gerhard Ulm: Mikro- und Nano-Spektroskopie und Detektorcharakterisierung im IR- und THz-Bereich an der Metrology Light Source. doi: 10.7795/310.20140405 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140405 6.: Kolbe, Michael, Erik Darlatt, Rolf Fliegauf, Hendrik Kaser, Alexander Gottwald und Mathias Richter: Oberflächenuntersuchungen mit Vakuum-UV-Strahlung. doi: 10.7795/310.20140406 http://dx.doi.org/10.7795/310.20140406 |
| Bemerkung: |
Bemerkung:
Diese Artikel erscheinen zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen. Der Teil I ist in PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 3, ISSN 0030-834X erschienen. doi: 10.7795/310.20140399 |