Title: Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen
Authors: Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169
Haase, Anton, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Krumrey, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Soltwisch, Victor, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin
Wernecke, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin
Contributors: Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887
Pages:5
Language:de
DOI:10.7795/310.20140402
Resource Type: Text / Article
Publisher: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Rights: Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
Relationships: IsPartOf: ISSN 0030-834X
Dates: Available: 2014-12-17
Issued: 2014-12
File: Download File (application/pdf) 3.19 MB (3350024 Bytes)
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Keywords Röntgenkleinwinkelstreuung ; GISAXS ; EUV-Scatterometrie ; nanostrukturierte Oberflächen ; EUVL-Photomasken
Series Information: PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 8 - 12. ISSN 0030-834X
Remark: Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 8 - 12, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.