| Titel: |
Titel:
Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen,
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| Autoren: |
Autoren:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Haase, Anton, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Krumrey, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin Soltwisch, Victor, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Wernecke, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin |
| Beitragende: |
Beitragende:
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: |
Seiten:
5
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| Sprachen: |
Sprachen:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140402
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
Text / Article
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rechte: |
Rechte:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
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| Beziehungen: |
Beziehungen:
IsPartOf: ISSN 0030-834X
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| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar: 2014-12-17 Herausgegeben: 2014-12 |
| Datei: |
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(application/pdf)
3.19 MB (3350024 Bytes)
MD5 Prüfsumme: 27c5fc0e1a894473f7c673e9230a20e9 SHA256 Prüfsumme: 82e927bedcf4cc1d7bd3c0d6ea8714a3ac522260afd72422aa2432e01a9ecb18 |
| Stichwörter: |
Stichwörter:
Röntgenkleinwinkelstreuung ;
GISAXS ;
EUV-Scatterometrie ;
nanostrukturierte Oberflächen ;
EUVL-Photomasken
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| Information zur Reihe: |
Information zur Reihe:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 8 - 12. ISSN 0030-834X
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| Bemerkung: |
Bemerkung:
Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 8 - 12, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.
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-OAR
