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Title:
Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen,
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| Authors: |
Authors:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Haase, Anton, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Krumrey, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin Soltwisch, Victor, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Wernecke, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin |
| Contributors: |
Contributors:
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Pages: |
Pages:
5
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| Languages: |
Languages:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140402
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| Resource Type: |
Resource Type:
Text / Article
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| Publisher: |
Publisher:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rights: |
Rights:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
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| Relationships: |
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IsPartOf: ISSN 0030-834X
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| Dates: |
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Available: 2014-12-17 Issued: 2014-12 |
| File: |
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3.19 MB (3350024 Bytes)
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| Keywords: |
Keywords:
Röntgenkleinwinkelstreuung ;
GISAXS ;
EUV-Scatterometrie ;
nanostrukturierte Oberflächen ;
EUVL-Photomasken
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| Series Information: |
Series Information:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 8 - 12. ISSN 0030-834X
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| Remark: |
Remark:
Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 8 - 12, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.
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