| Titel: | Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen |
| Autoren: |
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169 Haase, Anton, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Krumrey, Michael, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin Soltwisch, Victor, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Wernecke, Jan, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "Röntgenradiometrie", Berlin |
| Beitragende: | Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: | 5 |
| Sprache: | de |
| DOI: | 10.7795/310.20140402 |
| Art der Ressource: | Text / Article |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rechte: | Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch. |
| Beziehungen: | IsPartOf: ISSN 0030-834X |
| Daten: |
Verfügbar: 2014-12-17 Veröffentlicht: 2014-12 |
| Datei: |
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3.19 MB (3350024 Bytes)
MD5 Prüfsumme: 27c5fc0e1a894473f7c673e9230a20e9 SHA256 Prüfsumme: 82e927bedcf4cc1d7bd3c0d6ea8714a3ac522260afd72422aa2432e01a9ecb18 |
| Schlagworte | Röntgenkleinwinkelstreuung ; GISAXS ; EUV-Scatterometrie ; nanostrukturierte Oberflächen ; EUVL-Photomasken |
| Informationen zur Reihe: | PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 8 - 12. ISSN 0030-834X |
| Bemerkung: | Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 8 - 12, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen. |