| Titel: |
Titel:
Radiometrie für die EUV-Lithographie,
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Autoren:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Alle Autoren anzeigen (7) |
| Beitragende: |
Beitragende:
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Seiten: |
Seiten:
5
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| Sprachen: |
Sprachen:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140401
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| Art der Ressource: |
Art der Ressource:
Text / Article
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| Verlag: |
Verlag:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rechte: |
Rechte:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
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| Beziehungen: |
Beziehungen:
IsPartOf: ISSN 0030-834X
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| Datumsangaben: |
Datumsangaben:
Verfügbar: 2014-12-22 Herausgegeben: 2014-12 |
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(application/pdf)
3.36 MB (3526957 Bytes)
MD5 Prüfsumme: 9dee6bbccb8ff2a203ba483c71c21e3d SHA256 Prüfsumme: 57dfe25bfd9875a1986528a7b89a9cf9fc2e473cbdfaa40cf0c0e27fb37e50bb |
| Stichwörter: |
Stichwörter:
EUV-Strahlung ;
Reflektometrie ;
Optik ;
Spiegel ;
EUV-Lithographie (EUVL) ;
EUVL ;
Halbleiterbauelemente
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| Information zur Reihe: |
Information zur Reihe:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 3 - 7. ISSN 0030-834X
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| Bemerkung: |
Bemerkung:
Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 3 - 7, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.
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-OAR
