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Title:
Radiometrie für die EUV-Lithographie,
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Authors:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Show all authors (7) |
| Contributors: |
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Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Pages: |
Pages:
5
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| Languages: |
Languages:
de
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| DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140401
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| Resource Type: |
Resource Type:
Text / Article
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| Publisher: |
Publisher:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
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| Rights: |
Rights:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
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| Relationships: |
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IsPartOf: ISSN 0030-834X
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| Dates: |
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Available: 2014-12-22 Issued: 2014-12 |
| File: |
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3.36 MB (3526957 Bytes)
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| Keywords: |
Keywords:
EUV-Strahlung ;
Reflektometrie ;
Optik ;
Spiegel ;
EUV-Lithographie (EUVL) ;
EUVL ;
Halbleiterbauelemente
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| Series Information: |
Series Information:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 3 - 7. ISSN 0030-834X
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| Remark: |
Remark:
Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 3 - 7, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.
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