Title: |
Title:
Radiometrie für die EUV-Lithographie,
|
Authors: |
Authors:
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Show all authors (7) |
Contributors: |
Contributors:
Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
Pages: |
Pages:
5
|
Languages: |
Languages:
de
|
DOI: |
DOI:
10.7795/310.20140401
|
Resource Type: |
Resource Type:
Text / Article
|
Publisher: |
Publisher:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
|
Rights: |
Rights:
Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch.
|
Relationships: |
Relationships:
IsPartOf: ISSN 0030-834X
|
Dates: |
Dates:
Available: 2014-12-22 Issued: 2014-12 |
File: |
File:
Download File
(application/pdf)
3.36 MB (3526957 Bytes)
MD5 Checksum: 9dee6bbccb8ff2a203ba483c71c21e3d SHA256 Checksum: 57dfe25bfd9875a1986528a7b89a9cf9fc2e473cbdfaa40cf0c0e27fb37e50bb |
Keywords: |
Keywords:
EUV-Strahlung ;
Reflektometrie ;
Optik ;
Spiegel ;
EUV-Lithographie (EUVL) ;
EUVL ;
Halbleiterbauelemente
|
Series Information: |
Series Information:
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 3 - 7. ISSN 0030-834X
|
Remark: |
Remark:
Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 3 - 7, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen.
|

-OAR