| Title: | Radiometrie für die EUV-Lithographie |
| Authors: |
Scholze, Frank, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin, ORCID: 0000 0001 8414 2169 Laubis, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Barboutis, Annett, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Buchholz, Christian, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Fischer, Andreas, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe "EUV-Radiometrie", Berlin Show all authors (7) |
| Contributors: | Editor: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 HostingInstitution: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), ISNI: 0000 0001 2186 1887 |
| Pages: | 5 |
| Language: | de |
| DOI: | 10.7795/310.20140401 |
| Resource Type: | Text / Article |
| Publisher: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) |
| Rights: | Vervielfältigung nur zum eigenen persönlichen Gebrauch. |
| Relationships: | IsPartOf: ISSN 0030-834X |
| Dates: |
Available: 2014-12-22 Issued: 2014-12 |
| File: |
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3.36 MB (3526957 Bytes)
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| Keywords: | EUV-Strahlung ; Reflektometrie ; Optik ; Spiegel ; EUV-Lithographie (EUVL) ; EUVL ; Halbleiterbauelemente |
| Series Information: | PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 3 - 7. ISSN 0030-834X |
| Remark: | Dieser Artikel erscheint zugleich in: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4, S. 3 - 7, ISSN 0030-834X. Die PTB-Mitteilungen werden von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, herausgegeben. Die Print-Fassung erscheint 4-mal jährlich im Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH, Bremen. |